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單溫區PE-CVD系統
產品簡介

單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源,等離子體更穩定;滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。

產品型號:
更新時間:2025-03-18
廠商性質:生產廠家
訪問量:297
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品牌科冪儀器升溫速度(達到最高溫)10℃/min
加熱方式電阻絲最大功率3kW
控溫精度±1℃最高溫度1150℃
價格區間面議儀器種類管式爐
產地類別國產應用領域化工,生物產業,石油,能源,制藥/生物制藥

單溫區PE-CVD系統

產品特點:

單溫區PE-CVD系統采用高性能射頻電源,等離子體更穩定;

滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區;

可實現快速升溫和降溫功能;與傳統CVD相比較,生長溫度更低。


技術參數

型號:TFE - 1200 - 50 - 220

設計溫度:1150℃(短期)

額定溫度:1100℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

控制精度:±1℃

爐管尺寸:Φ30/50/60*1200mm

爐膛尺寸:Φ80*220mm

加熱區長度:220mm

恒溫區長度:80mm

加熱元件:優質國產電阻絲

額定功率:3KW

供氣系統:

①三路高精度MFC

②量程0-500sccm(可定制)

射頻電源:

①射頻功率:5-500W;

②射頻頻率:13.56MHz;

③匹配方式:自動匹配

真空系統:雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)

外形尺寸:1250*510*810mm

單溫區PE-CVD系統


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